Samsung Electronics тестирует внутренние маски EUV (101490) компании S&S Tech в условиях массового производства на своем 4-нм заводе. Это первый раз, когда эти маски были внедрены на реальной производственной линии

Цель — снизить зависимость от японской компании Hoya, укрепить устойчивость цепочки поставок и получить больше ценовых рычагов
Сообщается, что Samsung давала S&S Tech обратную связь для улучшения качества, в то время как S&S Tech уже инвестировала значительные средства в оборудование для инспекции и новый завод в Йонгине для поддержки этой инициативы. Если локализация удастся, Samsung сможет ежегодно экономить десятки миллиардов вон и сократить сроки поставки, хотя заказы на массовое производство могут занимать от шести месяцев до более чем года
«Я понимаю, что маски S&S Tech используются в процессе EUV, который относительно менее требователен даже в рамках узла 4 нм, — сказал инсайдер отрасли. Факт, что они тестируют образцы на реальной линии массового производства, показывает сильную приверженность локализации», — добавил источник. Он отметил, что Samsung стремится снизить зависимость от Hoya и со временем обеспечить большую ценовую власть
Пустая маска — это базовый материал для фотомасок, используемых для переноса схемных узоров на пластины в процессе производства полупроводников. Обычно она изготавливается путем нанесения тонкого слоя металла или соединения на высокочистое стеклянное основание. Затем производители чипов гравируют схемные узоры на пустой маске, чтобы создать финальную фотомаску
Маски EUV значительно отличаются от традиционных продуктов глубокого ультрафиолета, или DUV. DUV-маски прозрачны, что означает, что ультрафиолетовый свет проходит через подложку, формируя узоры на пластине. В отличие от них, маски EUV отражательные, то есть экстремальный ультрафиолетовый свет отражается, а не проходит. Они изготавливаются путем чередования десятков слоев, около 40 пар, из молибдена и кремния на стеклянной подложке. Из-за короткой длины волны EUV даже очень мелкие дефекты могут быть критическими, что делает как производство, так и инспекцию гораздо более сложными
В начале прошлого года S&S Tech инвестировала более 40 миллиардов вон в оборудование для инспекции японской компании Lasertec для своей линии масок EUV. Оборудование, как сообщается, было установлено на новом заводе в Йонгине, который компания завершила в октябре прошлого года
Samsung Electronics в настоящее время импортирует большинство своих масок EUV из Японии, компании Hoya. Однако в прошлом она сталкивалась с проблемами закупок из-за сбоев, таких как землетрясения в Японии. Хотя Hoya расширила производство в Сингапуре для решения этих проблем, опасения в полупроводниковой индустрии остаются
Маски EUV стоят десятки миллионов вон за лист, а более высококлассные версии могут превышать 100 миллионов вон. Сообщается, что Samsung ожидает ежегодной экономии в десятки миллиардов вон и сокращения сроков поставки, если S&S Tech удастся успешно локализовать поставки
«Я понимаю, что S&S Tech сейчас работает над улучшениями для снижения генерации частиц после получения обратной связи от Samsung Electronics, — сказал представитель отрасли. Заказы на массовое производство могут быть выпущены через шесть месяцев или более года», — добавил он.